国立大学法人
東海国立大学機構
1． 調達の背景及び目的
炭素系硬質薄膜は高硬度・高耐摩耗性・低摩擦などの特性を有することから，難切削材の加工工具表面への適用等が期待されている．高硬度炭素薄膜を成膜可能なFiltered Cathodic Vacuum Arc (FCVA)装置を用いた成膜により高硬度，耐摩耗性を有する成膜を可能とする設備調達が必要である．装置導入にあたり量産装置においてレシピ開発されることが望まれることから，量産加工装置の小型プロトタイプによる成膜レシピ開発を行い，現場導入時の開発速度を向上させる．
2． 調達物品名及び構成内訳
FCVA成膜装置
（構成内訳）
1． 真空系1式
2． 冷却系及び制御系1式
3． 成膜系1式
搬入、据付、配管、配線及び調整一式を含む
Leben株式会社応札機器画像
システム構成
