Leben -bnbは、韓国ATF社のDLC表面成膜処理装置およびDLC表面成膜処理加工を提供いたします。
ーDLC表面成膜処理とはー
•加工素材の摩擦係数減らし、耐久性を上げることで、CO 2 削減硬度を強化、耐摩耗性高め、機能性部品へ幅広く応用できます。
核心技術
■HF-DLC (Hydrogen Free-DLC又はta-C)
– 磁気制御されたフィルタアーク放電を利用してカーボンターゲットを蒸発させて成膜する方法
■DLC (Diamond Like Carbon)
-イオンソースを利用して炭素を含むガスをプラズマでイオン化してコーティングする方式
■FCVA (Filtered Vacuum Arc Source) : Design & Fabrication
-アーク放電して発生するMacro particleおよび中性粒子をフィルタ磁性体を用いてろ過して高純度薄膜 および 表面粗さが低い薄膜を形成（低摩擦特性、優れた表面粗さ、低温工程、応力制御技術）
■LIS (Linear Ion Source) : Design & Fabrication
-炭化ガスをイオン化させて基板に蒸着、放電電圧に大きさによって基板に加速されるイオンエネルギーが変わる （高い蒸着率、均一で再現性ある成膜、優れた密着力）